據報道，佳能將於2022年7月下旬推出FPD（Flat Panel Display）曝光裝置新品“MPAsp-H1003H”，支援第8代玻璃基板尺寸，“MPAsp-H1003H”擁有1。5μm*2（L/S*3）的解析度和±0。35μm的套合精度。

FPD曝光裝置“MPAsp-H1003H”

近年來，隨著遠端辦公需求的激增與線上教育的迅速普及，膝上型電腦、平板電腦等IT裝置所用顯示器的需求也在持續增長。此外，由於電動汽車的普及與自動駕駛技術的不斷進步，更輕薄、高畫質優勢的車載顯示器預計也將迎來市場需求的進一步增長。

報道稱，雖然在第6代玻璃基板*4上目前已經實現這類高畫質顯示器面板的量產，但從一片玻璃能夠生產出更多顯示面板的觀點出發，第8代玻璃基板的市場需求也在不斷增加。

據悉，佳能本次推出的FPD曝光裝置“MPAsp-H1003H”支援第8代玻璃基板，同時兼顧1。5μm的解析度和±0。35μm的套合精度，有助於提高應用在IT裝置顯示器上的面板的生產效率。

具體來看，第8代玻璃基板上實現1。5μm高解析度

本次發售的新產品沿用了針對第8代玻璃基板研發的FPD曝光裝置“MPAsp-H1003T”（2018年10月推出）所搭載的投影光學系統，可實現對65英寸面板的一次曝光。此外，新產品還搭載了第6代玻璃基板的曝光裝置“MPAsp-E813H”（2014年9月推出）所使用的超分辨技術*5，該技術經驗證，可以實現1。5μm的高解析度。在多種技術加持下，新產品既可以滿足IT顯示器用面板的高解析度需求，又可以實現大型顯示器所需的最大65英寸無拼接式面板的製造。

兼顧高生產性與高套合精度

透過對趨於成熟的高速載臺技術的升級和改進，並不斷提高了玻璃基板載臺的效能，本次發售的FPD曝光裝置“MPAsp-H1003H”與上一代產品“MPAsp-H1003T”相比，實現生產效率約20%的提升。此外，透過結合“MPAsp-E813H”中經實績驗證的定位方式和倍率校正機構，新產品可實現±0。35μm的套合精度，與上一代產品“MPAsp-H1003T”相比提高了約20%。

增強各類製造工序的工藝對應能力

新產品配備了包含超解析度技術照明模式的切換構件和穩定曝光線寬的自動曝光狹縫調整（SIC）構件，強化了多樣化製造工序的工藝對應能力，提供了更穩定的製造質量。

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