以下是關於頻譜分析基礎的專有名詞，供參考：

諧波失真：由幹器件（如混頻器、放大器）的非線性特性，訊號透過它而被附加上了多餘頻率分量。這些多餘的分量與原始訊號諧波相關。

互調失真：透過具有非線性特性的器件（如混頻器、放大器）的兩個或多個頻譜分量相互作用形成的無用頻譜分量。無用分量與基波有關，它是由基波和各個諧波的和與差組成，例如 f1 +f2。2f1 f2。2f2 +f1。3f1 -2f2等等。

雜散響應：輸入訊號在頻譜分析儀顯示器上引起的非正常響應。分析儀內部產生的失真分量是雜散響應，如映象響應和多重響應。

多重響應：在頻譜分析儀上顯示出的單一輸入訊號的兩個或多個響應。多重響應只出現在混頻模式重疊以及本振掃過足夠寬的範圍而使輸入訊號不止在一個混頻模式上相混頻時，通常不會發生在帶預選器的分析儀中。

本振輻射或洩漏：從頻譜分析儀輸入端漏出的本振訊號。對無預選的頻譜分析儀輻射電平可能大於0 dBm而對有預選的分析儀通常小於-70 dBm

本振饋通：當頻譜分析儀調諧到0 Hz 即當本振調諧到中頻時，顯示器上的響應。本振饋通可用作0 Hz的標記，沒有頻率誤差。

漂移：由於本振頻率隨掃描電壓的變化引起的顯示器上訊號位置的緩慢（相對於掃描時間）變化。最初造成漂移的原因是頻譜儀的溫度穩定性和頻率參考的老化率。

噪聲係數：器件（混頻器、放大器）輸入端的信噪比與器件輸出端信噪比的比值，通常以 dB 表示。

數字中頻：新型頻譜儀所採用的一種結構，訊號從射頻下變頻至中頻後立即進行數字化，此後所有的訊號處理都透過數字訊號處理（DSP）技術完成。