數碼機械加工與鹼蝕刻相結合的單晶矽表面微製造結果和討論用低濃度的KOH水溶液蝕刻用FFM結構進行了極微細加工的單晶矽,在加工部產生掩蔽效果,加工部殘留形成凸狀...時間:2021-11-22標籤:蝕刻 加工 FFM 水溶液 凸狀