在晶片製造的過程中，光刻機是最關鍵的裝置之一，也是攻克難度最高的裝置。

長期以來，荷蘭ASML憑藉著在光刻機行業的壟斷地位，掐住了全球晶片製造業的脖子。資料顯示，在2019年全球光刻機市場中，ASML獨佔74%的市場。在EUV光刻機市場中，ASML更是實現了100%的壟斷。

中國的晶片製造產業，也被ASML掐在手中。至今，ASML仍未鬆口賣EUV光刻機給中國大陸企業，這令我國實現10nm及以下製程晶片困難重重。

ASML的舉措讓中國企業有了深深的危機感，意外盤活了國產光刻機。近年來，國產光刻機產業取得了越來越多的成績。

據企查查顯示，日前科益虹源股權發生變更，華為旗下的哈勃投資成為第七大股東，佔股為4.76%。科益虹源在光源系統領域表現優異，而光源系統則是光刻機的三大核心技術之一。

值得注意的是，除華為外還有許多企業也入股了科益虹源。這表示，更多的資本開始關注中國光刻機產業，中國光刻機企業有更多的資金用於研發。

雖然我國在光刻機領域，仍不能與ASML相抗衡，但我國在光刻機及關鍵產業都打下了一定的基礎。這成為我國光刻機崛起的底氣。

在光刻機的核心部件——雙工件臺上，華卓精科已經取得突破。

它是全球除ASML之外，唯一掌握高階光刻機雙工件臺的企業，目前已經可以生產浸沒式28nm光刻機DWSi系統雙工件臺，表現亮眼。

除科益虹源、華卓精科外，我國還有國望光學、國科精密、啟爾機電這三家光刻機產業鏈企業，它們分別紮根於物鏡系統、曝光光學系統以及浸沒系統領域。

這五大供應商，共同填補了我國光刻機核心部件上的空白，具有重要意義。

此外，我國高校、科研機構也頻頻傳來新突破，為國產光刻機的突圍帶來了更多的可能性。

譬如，今年2月份清華大學工程物理系實現穩態微聚束（SSMB）的首個原理驗證實現。據瞭解，SSMB功率大、波長短的特性，使其有望作為未來EUV光刻機的光源。

由此不難看出，國產光刻機正在快速崛起。

從上述種種事件來看，ASML CEO的預言正在上演，他曾表示，若禁止光刻機出口中國，中國可能在3年內就掌握這項技術。

十分期待國產光刻機突出重圍的這一天。

文/BU 稽核/子揚 校正/知秋