數碼線上直播 | 更高效的工具來增加半導體失效分析任務中的通量和靈活性TESCAN將高通量 i-FIB+TMXe 等離子 FIB鏡筒與 TriglavTMUHR 電子鏡筒配對,以擴充套件 FIB 在物理失效分析的極限,實現了超大寬度和深度橫截面加工的技術突破...時間:2021-08-26標籤:FIB 失效 TESCAN 15 SEM