2021中國MEMS10強企業，附23條MEMS生產線彙總！

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2021中國MEMS感測器領域實力最強的10家公司！

2021年中國MEMS製造大會十強企業頒獎現場

10月27日，2021年中國MEMS製造大會（China MEMS）在蘇州舉行，這是目前中國MEMS行業最具影響力的大會，由中國唯一的MEMS行業組織——中國半導體行業協會MEMS分會聯合微納製造中試平臺、中科院奈米所等舉行，今年已經是第三屆。

會上，舉行了“2020年中國半導體MEMS十強企業”頒獎儀式，宣佈了上一年度國內優秀的MEMS企業十強名單，該名單是目前國內最權威的MEMS企業名錄，代表現在中國MEMS領域實力最強的10家頭部企業。

2021年中國MEMS製造大會十強企業頒獎現場

1 歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立於2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麥克風及模組、智慧感測器及模組、SiP封裝等相關業務，專注於MEMS相關產品的自主研發設計與製造，其產品已廣泛應用於智慧手機、無線耳機、智慧穿戴、智慧家居、無人機及汽車電子等領域。

《中國感測器發展藍皮書》首批36傢俱有影響力的感測器企業之一，中國微型麥克風代表性企業，在微型麥克風領域，市場佔有率居世界同行業之首。據Yole Development 《202年MEMS產業現狀報告》顯示，歌爾在2020年全球MEMS廠商營收排名中升至第六位，繼去年首次躋身前十後，僅用一年時間排名升至第六，也是前十名中唯一一家中國企業，報告還指出，在MEMS麥克風方面，歌爾15年來首次超過樓氏電子成為行業第一。

上市企業，上半年市值約1351億元，2021上半年營收302。88億元，同比增長94。49%；上半年淨利潤17。31億元，同比增長121。71%

官網：https：//www。goertek。com/

2 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司

瑞聲科技控股有限公司為智慧裝置提供領先的微型專有技術解決方案，在聲學、光學、觸覺反饋、精密製造、微機電、無線射頻和天線領域擁有材料研發、模擬、演算法、設計、自動化以及工藝開發等尖端技術。集團在設計和大批次高精密製造方面有近三十年經驗，

《中國感測器發展藍皮書》首批36傢俱有影響力的感測器企業之一，中國電聲元器件代表性企業，全球著名的電聲元器件製造商之一，2005年在香港上市。在微型聲學、觸覺、MEMS麥克風領域，分別被工信部認定為我國製造業單項冠軍示範企業。現已成為全球領先的同行、IT及消費電子市場微型元器件整體方案供貨商。

港股上市企業，上半年市值約316。94億元，2021上半年營收86億港元，同比增長9。90%；上半年淨利潤9。21萬港元，同比增長187。40%

官網：https：//www。aactechnologies。com/

3 華潤微積體電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，是領先的半導體和智慧感測器供應商，總部位於無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產線是國內規模最大的與CMOS生產線相容的MEMS感測器量產生產線，具有國內領先水平的 MEMS 表面和體矽加工技術，用於製造壓力、矽麥克風、光電、溫溼度等MEMS感測器。

華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產能擴充已經完成，並投入使用。光電及MEMS麥克風工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實現批次生產，產品效能及良率水平優秀；整體提升了其MEMS工藝技術水平和競爭能力。

上市企業，上半年市值約908。9億元，2021上半年營收44。55億元，同比增長45。44%；上半年淨利潤10。68億元，同比增長164。86%

官網：https：//www。crmicro。com/

4 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司成立於2007年9月，是一家專業從事微電子機械系統感測器研發設計的高新技術企業，公司總部在蘇州工業園區，並在蘇州工業園區、崑山設有感測器產品製造工廠。

目前，憑藉自主智慧財產權的晶片設計，並與國際知名Fab廠和封裝廠合作，完成了公司產品的研發與產業化，並帶動了MEMS上下游產業鏈的發展。公司三大產品線分別為MEMS麥克風、MEMS壓力感測器和MEMS慣性感測器，應用場景涵蓋了消費電子、醫療、工業控制以及汽車電子等領域。

《中國感測器發展藍皮書》首批36傢俱有影響力的感測器企業之一，EET電子工程專輯（中國）2021年中國感測器公司TOP10之一。敏芯作為中國最早成立的MEMS研發公司之一，現已擁有完整的晶片設計、晶圓製造、封裝與測試等全產業鏈的自主研發設計能力，憑藉完全自主設計的MEMS晶片與ASIC晶片成功打破了國外廠商長期壟斷的格局，為MEMS全產業鏈的國產化探索了一條完整的道路。

上市企業，上半年市值約51。55億元，2021上半年營收1。87億元，同比增長40。17%；淨利潤1021。77萬元，同比增長-40。05%

官網：https：//www。memsensing。com/

5 河北美泰電子科技有限公司

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業協會理事長單位，專門致力於MEMS（微電子機械系統）器件與系統的研發、生產和銷售。連續多年榮獲“中國半導體MEMS十強企業”，是國內最大的MEMS核心晶片、器件和系統產品供應商，中國MEMS技術領導者。

《中國感測器發展藍皮書》首批36傢俱有影響力的感測器企業之一，中國MEMS感測器代表性企業，EET電子工程專輯（中國）2021年中國感測器公司TOP10之一。優勢產品包括MEMS慣性器件與系統、MEMS感測器、汽車感測器、壓力感測器、射頻（RF）MEMS器件等，產品廣泛應用於航空航天、高鐵、汽車、自動駕駛、通訊、地震監測、物聯網、智慧城市、智慧家電等領域。

2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高效能MEMS 器件中的應用”透過科技部組織的專家驗收，用於MEMS陀螺儀、加速度計、振動感測器、碰撞感測器、MEMS光開關、VOA及壓力感測器等高效能MEMS器件的批次加工，美泰科技6英寸產線月產能達到1萬片。

6 美新半導體（天津）有限公司

美新半導體（MEMSIC）是全球領先的慣性MEMS感測器及解決方案提供商，於1999年成立，目前總部位於中國天津，在美國聖何塞和中國無錫、上海、深圳、臺北設有研發機構，在中國無錫、上海擁有製造和封測工廠，銷售及技術支援網路遍及亞太，北美，歐洲，非洲和中東等地區。

《中國感測器發展藍皮書》首批36傢俱有影響力的感測器企業之一，中國慣性感測器代表性企業，EET電子工程專輯（中國）2021年中國感測器公司TOP10之一，原創開發了基於標準CMOS流程的微機電系統和全球領先的製造工藝和測試技術，成功研發出30多種型號的加速度感測器、磁感測器等產品。

2007年在NASDAQ上市，是全球第一家MEMS上市公司。2020年，美新獲得mCube獨家授權其所有慣性感測器晶片技術，全面佈局電容式加速度計和陀螺儀領域。最近完成10億人民幣A輪融資，國內最大的MEMS慣性感測器公司，擁有特色工藝MEMS生產線。

7 蘇州納芯微電子股份有限公司

蘇州納芯微電子是高效能高可靠性模擬晶片的研發設計企業。公司自2013年成立以來，專注於圍繞各個應用場景進行產品開發，由感測器訊號調理ASIC晶片出發，向前後端拓展了整合式感測器晶片、隔離與介面晶片、驅動與取樣晶片，形成了訊號感知、系統互聯與功率驅動的產品佈局。

在混合訊號處理、高耐壓數字隔離、整合式感測器設計等領域擁有獨立智慧財產權和豐富技術儲備，產品已作為新能源汽車、工業自動化等應用的關鍵晶片，成功進入多個行業一線客戶的供應體系並實現大規模量產。同時公司持續加大各應用場景的產品研發，產品被廣泛應用於國內知名品牌客戶，涵蓋資訊通訊、工業控制、汽車電子和消費電子等領域。

官網：https：//www。novosns。com/

8 上海矽睿科技有限公司

上海矽睿科技有限公司成立於2012年9月，專注於MEMS智慧感測器業務，設計和生產優質感測器產品，併為客戶提供相應的智慧應用方案和服務。

矽睿科技擁有完全自主智慧財產權，申請併成功授權70餘項國際國內發明專利，專利組合覆蓋MEMS工藝製程、感測器設計和ASIC設計、演算法和系統應用軟體等。

《中國感測器發展藍皮書》首批36傢俱有影響力的感測器企業之一，專業從事高階MEMS感測器和執行器、微系統等技術與產品的開發、生產及銷售。

官網：https：//www。qstcorp。com/

9 西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司

西人馬聯合測控成立於2017年，總部坐落於福建，北方總部坐落於北京、南方總部坐落於深圳，歐洲總部坐落於法國巴黎。西人馬聯合測控總人數近1000人，其中科研人員約600人，擁有超過500項專利，並以每年30%以上的速度遞增。

EET電子工程專輯（中國）2021年中國感測器公司TOP10之一，採用IDM模式，專注於感測器晶片及相關調理晶片的研發、設計、製造和封測。

作為一家IDM晶片供應商，西人馬擁有先進的MEMS\ASIC\SoC以及非矽基晶片的設計、製造、封測能力，基於這些先進的核心技術，西人馬既可以單獨給客戶提供高品質的晶片產品，也可以提供相應的模組和解決方案，利用西人馬先進的感測器、邊緣計算產品和相應的開發套件幫助客戶快速地搭建起具有監測與控制功能的A-IoT系統。

官網：https：//www。fatritech。com/

10 蘇州明皜感測科技有限公司

明皜感測由海內外知名管理和技術團隊與蘇州固鎝電子股份有限公司（股票程式碼：002079）共同投資建立。團隊分佈在蘇州、美國矽谷及臺灣新竹；團隊成員執業於半導體、MEMS業界數十年，在產品設計與研發、系統整合與應用、封裝測試及生產營運及市場推廣等方面具有豐富的經驗。

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附23條MEMS生產線彙總！

▲賽微電子董事長楊雲春手持北京FAB3生產的8英寸MEMS麥克風晶圓

▲中芯積體電路製造（紹興）廠房

▲上海先進半導體

▲華潤微電子

5、華虹宏力（代工）

華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體制造有限公司合併而成，自建設中國大陸第一條8英寸（200mm）積體電路生產線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產能約18萬片。

在8英寸製造平臺上，華虹實現MEMS器件與標準CMOS工藝及生產線的全相容。已流片的產品包括磁力計、加速度計、壓力感測器等。

▲上海華虹宏力三廠

▲浙江芯動科技廠房

7、睿創微納（IDM）

睿創微納總部位於山東煙臺，是從事專用積體電路、紅外熱像晶片及MEMS感測器設計與製造的企業。

睿創微納的8英寸MEMS晶圓生產線由公司與代工廠共建，已量產，月產能1500片晶圓。

2020年7月，與煙臺開發區簽署協議，建設一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線。其中，化合物半導體晶片工藝線面向半導體鐳射器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高階光學MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS感測器等。

▲睿創微納

8、罕王微電子（IDM&代工）

罕王微電子是一家以MEMS感測器設計及製造生產為核心的高科技中美合資企業，總部位於遼寧省沈撫新區，系罕王集團控股子公司。

罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS感測器業務，2018年建成國內首條8英寸純MEMS規模化量產線，工藝能力涵蓋MEMS晶片生產全流程，設計晶圓產能36萬片/年。生產感測器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、溼度、壓力、應力感測器等。

9、河北美泰（IDM）

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高效能MEMS 器件中的應用”透過科技部組織的專家驗收。

6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術用於MEMS陀螺儀、加速度計、振動感測器、碰撞感測器、MEMS光開關、VOA及壓力感測器等高效能MEMS器件的批次加工，美泰科技6英寸產線月產能達到1萬片。

10、廈門西人馬（IDM）

西人馬（FATRI）是一家晶片IDM公司，旗下西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立於2017年，是西人馬MEMS高階感測器和晶片製造基地，佔地70畝，建築面積20000㎡，具有6000㎡的超淨車間和先進微奈米研究實驗室，配備8英寸向下相容6英寸的MEMS智慧感測器晶片產線和中國先進的MEMS器件加工平臺。

西人馬19年11月獲得朗潤基金數千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，今年3月獲B輪融資，發展迅速，西人馬已經成為國內MEMS領域IDM晶片公司的鰲頭，紅外和壓力感測器每日產量可以達到幾十萬顆。

11、廣州奧松電子（IDM&代工）

奧松電子成立於2003年，專注於MEMS半導體工藝技術，是國內率先應用MEMS半導體工藝技術生產感測器晶片的高新技術企業，也是廣東省MEMS領域集研發、設計、製造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智慧感測器全產業鏈（簡稱IDM）企業。

2019年奧松電子斥巨資打造MEMS半導體晶片生產線，一期工程淨化車間總面積約2500平方米，配置溼法清洗區、百級潔淨度光刻區、千級潔淨度鍍膜區、千級潔淨度刻蝕區、千級潔淨度離子注入區及參觀通道等。

2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體感測器晶片生產線正式投入運營，成功量產出溫溼度、流量、氣體、差壓、風速等感測器晶片。

奧松電子MEMS半導體生產線一期工程為500奈米MEMS半導體工藝製程，生產裝置約佔整個投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產線；總專案全部建成投產後，每月流片規模將達到4萬片，

2021年8月，奧松電子官網宣佈對外開放MEMS晶片代工業務，包括裝置共享、技術支援、企業孵化等服務。

2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術產業開發區建設8英寸先進MEMS特色半導體IDM產業基地專案。該專案建成後，將成為國內先進的MEMS晶片及智慧感測器產業叢集，提高MEMS晶片的代工和量產能力。

12、諾思微系統（IDM）

諾思微系統位於天津，是一家無線裝置射頻前端MEMS濾波晶片服務商，其產品主要採用薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術以及矽襯底的微機電系統（MEMS）製造技術，同時為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。

諾思微已投產一條6英寸MEMS晶圓生產線和一條4英寸工藝研發線。廠房和研發中心總佔地面積2。7萬平方米。

2021年3月，國家重點研發計劃“製造基礎技術與關鍵部件”重點專項專案“矽基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的專案在諾思微系統啟動，針對5G/6G無線通訊、物聯網等對射頻濾波器、智慧感測器提出新的技術要求，對實現晶圓級矽基MEMS壓電器件的大規模生產、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制於人的局面，有重要意義。

2021年8月完成4億元融資，預計在一年內全面加速產能釋放，達年產20億顆濾波器晶片的產能規模。

13、多維科技（IDM&代工）

成立於2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁感測技術——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應晶片產線。

多維科技的磁感測器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產線，提供完整的磁感測器（AMR / GMR / TMR）開發及晶圓製造服務（包括設計、製造和測試），年產10億個TMR磁感測器。

2021年5月多維科技獲4億元融資，將用於對現有產線進行升級，能夠進一步強化“自研、自產、技術領先”的核心競爭力。

14、湖南啟泰感測科技（IDM）

2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰感測以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質膜關鍵工藝與技術，建設國內第一條金屬基薄膜力敏晶片——MEMS壓敏感測晶片生產線，是世界上少數幾家具有金屬濺射薄膜壓敏晶片規模化生產能力的公司之一。

2019年8月該生產線實現批次生產，年產壓敏感測晶片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產，用地面積35畝，建設總用地面積2萬多平米，感測器晶片年生產能力可達600萬顆，感測器封裝200萬支，年產值可達10億元。

二期專案正在進行，預計完工後，感測器晶片產能將達2000萬顆，感測器封裝1000萬支，年產值可達50億元。

15、高德紅外（IDM）

高德紅外創立於1999年，總部位於武漢，擁有8 英寸 0。25um 批產型 MEMS 生產線，是目前國內唯一一條自主可控且具備批產能力的非製冷紅外焦平面探測器生產線，已實現從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規格產品型號批產能力。

高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產線，據2021年8月訊息，年底將有新產線投產，並提高3~4倍產能。

16、武漢衍熙微器件（IDM）

武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產線，具有先進的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝裝置，並建立創新自主開發的產品生產流程。該產線主要產品有MEMS濾波器、雙工器等。

2018年，武漢衍熙微器件進行專案擴建，一期為租賃現有廠房5600平方米，建設3600平方米的無塵室車間；二期計劃建設約10000平方米的無塵室車間，用於擴大生產。

17、杭州士蘭微電子（IDM）

杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的積體電路晶片設計與製造一體（IDM）的企業之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，透過對加速度感測器、地磁感測器、壓力感測器等一系列感測器產品的開發，在6吋、8吋晶片生產線上實現了批次製造能力，並建立自己的MEMS封測生產線，初步走通了系列感測器的IDM發展之路，已申請相關發明專利百餘項。

目前士蘭微MEMS感測器產品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁感測器、六軸慣性感測器、高效能MEMS麥克風、數字三合一感測器、心率感測器、高效能氣壓壓力感測器等。

2021年7月30日，士蘭微發出資產重組公告，引入國家積體電路產業投資基金股份有限公司，募集11億元。

18、蘇州固鎝（IDM）

蘇州固鎝成立於1990年，是國內二極體龍頭企業，旗下子公司明銳光電、明皜感測、艾特曼電子等涉足MEMS感測器IDM業務。

2010年固鎝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維整合製造平臺技術及八寸晶圓級封裝技術及產線和產品研發。

2011年成立明皜感測，從事微機電感測器晶片和器件的工藝開發、設計。2021年8月，明皜感測獲小米投資，註冊資本由 6443。64 萬元人民幣增加至 7085。19 萬元人民幣，增幅為 9。96%。

2012年成立艾特曼電子，主要從事晶圓級MEMS器件封裝工藝及相關核心技術的開發並提供代工服務，服務領域涵蓋消費類電子產品、汽車電子、工業控制、家電領域慣性感測器（加速度計、陀螺儀）以及紅外感測器等。

2021年6月，蘇州固鎝與華景感測合資成立華鎝半導體，願景是將華景感測的MEMS麥克風晶片設計技術與蘇州固鎝的封測技術及生產經驗相結合，逐步實現MEMS麥克風在高階領域的進口替代。

同月，華鎝MEMS聲學感測器及射頻濾波器封測專案落戶蘇州。專案一期產線將建立符合華為體系標準的MEMS聲學感測器的封測基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期將引入國內首創MEMS麥克風及射頻濾波器的WLP晶圓級封裝產線，該晶圓級封裝為晶片流片工藝最後一道關鍵工藝，華鎝將擁有自主晶圓級封裝相關自主技術知識產權。

19、蘇州奈米城（中試線）

蘇州奈米城6英寸MEMS中試線由蘇州奈米科技發展有限公司（蘇州工業園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平臺專案。

蘇州6英寸微納機電製造（MEMS）中試線採用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、裝置租賃、超淨場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功匯入壓力感測器、微鏡感測器、微流體感測器等產品