電極是真空等離子清洗機反應腔體放電的一個關鍵部件，但在裝置保養過程中卻很容易忽略。真空等離子清洗機在持續工作一段時間後，會出現的這些現象：反應腔體內放電不穩定甚至有拉弧；產品處理的效果不如以前；等離子發生器匹配不上；電極某個地方溫度非常高……這些現象均有可能是電極保養不當造成的。普樂斯的技術人員和客服人員，結合多年的研製和服務經驗，總結了一些心得，今天分享給大家。

1 真空等離子清洗機電極的材質、組成和功能

常見的真空等離子清洗機是電容耦合式放電，即CCP放電，電極相當於電容，一般是成雙成對的對應關係，包括水平電極、垂直電極、組合式電極等。無論是13。56MHz射頻激發產生等離子體，還是40KHz中頻激發產生等離子體，在一定的真空度環境下當等離子發生器給電極施加能量，就會在兩極之間產生電位差激發氣體產生等離子體。

1）電極的材質：打孔或者整塊金屬鋁板。

2）電極的組成：鋁板、饋入接頭和絕緣條。

3）電極的功能：具有電容特性，通電後極板帶電形成電勢差，當能量集聚到一定程度，將兩極之間的氣體激發電離形成離子體。

2 影響真空等離子清洗機電極放電不佳的一些原因

真空等離子清洗機的電極，我們也叫負載，當負載發生變化時，會對等離子體的產生和等離子表面處理的效果產生影響。

1）經常插拔電極，會造成電極饋入磨損或接觸不良。此外，隨著使用時間增長，電極饋入表面會被氧化，電阻增大造成放電不穩定，層間溫差較大。

2）等離子與材料表面發生物理或化學反應，大部分氣化的東西都會被真空泵抽走，但也有極少的物質會粘在電極表面，日積月累之下，電極表面容易被汙染物遮擋。如果汙染物對絕緣層形成遮擋，相當於增大電極的電容，所需的放電功率就會更高；當電極表面被導體粉末或者碳等汙染物遮擋時，電極的電容會變小，放電的功率降低，從而導致拉弧以及電極的區域性溫度升高。

3）負載的變化，會直接導致等離子發生器的匹配受到影響，出現匹配不好的情況。

3 真空等離子清洗機的電極保養注意事項

1）真空等離子清洗機的裝置保養裡面都會有電極維護保養的要求，為了把工作落實得更細，可以單獨制定出等離子清洗機的電極保養計劃，包括日計劃、周計劃、月計劃和年度計劃。

2）在裝置每天工作前後都要用無水酒精擦拭乾淨電極，不留死角，保證電極表面潔淨如新。此外定期察看電極饋入是否氧化、絕緣條有無磨損或絕緣效果不佳，如有問題可進行更換。

3）根據不同的使用環境和工藝要求，當電極表面已經不能透過人工擦拭的方式達到清潔要求，或者電極表面已經產生肉眼看到見的汙染層，就需要取出電極請專業人員進行打磨甚至更換電極。

總之，真空等離子清洗機的電極維護保養工作不僅關乎到等離子表面處理的效果，而且在延長裝置的使用壽命、提高經濟效益上也很重要，千萬不要掉以輕心。

親，感謝您耐心的閱讀！如果此文對您有所幫助，敬請點個贊或者關注一下；如果您有更好的建議或內容補充，歡迎在下方評論區留言與我們互動。本快傳號的宗旨是專注等離子清洗機和低溫等離子體的技術研討，與您分享等離子表面處理工藝、原理及應用等相關知識。