對於晶片代工廠商來說：光刻機是不可或缺的，如果沒有光刻機對晶片進行曝光印章，刻蝕機將無法對晶片進行雕刻，晶片也將無法生產。除了光刻機外，

離子注入機

也很重要。在晶片進行曝光生產之前，如果沒有離子注入機對矽片進行摻雜，晶片的電路整合規格、電晶體整合度將會大幅降低。

今天帶大家瞭解的是：對接國產28奈米光刻機，

中國電科

推出的

28奈米離子注入機

。

處理器晶片是支撐手機、PC端裝置進行資料處理、資訊傳輸的重要器件。在晶片製程中，代工廠商對處理器晶片的各個環節的要求十分嚴格，稍加疏忽，便可能影響到晶片的良品率。

決定晶片良品率高低的因素有很多，最重要的當屬

離子注入環節

。而在離子注入環節中擔任“總指揮”的是

離子注入機

。和我們在晶片代工領域中被光刻機“卡脖子”的處境一樣。我們在離子注入機方面，也存在著被國外的離子注入機“卡脖子”的問題。

先給大家科普一下什麼是離子注入機。離子注入機在晶片製造過程中主要負責對晶片進行電離子改造，按照預定方式改變材料的電效能。在光刻機對晶片進行曝光生產前，離子注入機對矽片進行不同元素摻雜，能夠

提高晶片的整合度、良品率和壽命

。簡單來說，離子注入機在晶片製程中起到了

最佳化矽片、提高晶片效能

的作用。

一直以來，我國的半導體廠商使用的離子注入機都是來自國外。拋去成本營收不說，長期依賴國外的技術裝置，顯然不利於我國半導體行業的發展。更何況現如今是在美國高強度打壓我國半導體發展的背景下。

針對此類現狀，

中國電科

潛心鑽研，成功擊碎國外技術壁壘，推出了

可供28奈米及28奈米以上製程晶片使用的離子注入機

。值得一提的是：中國電科推出的28奈米離子注入機，剛好可以搭配

上海微電子的28奈米光刻機

，加速我們實現晶片完全自主化生產目標的腳步。