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SGT MOSFET 介紹

SGT MOSFE是一種新型的功率半導體器件,具有傳統深溝槽MOSFE的低導通損耗的優點,同時具有更加低的開關損耗。SGT MOSFE作為開關器件應用於新能源電動車、新型光伏發電、節能家電等領域的電機驅動系統、逆變器系統及電源管理系統,是核心功率控制部件。

SGT(Shield Gate Trench MOSFET) MOSFET結構及工藝製造方法,因其不需要在溝槽內生長厚的遮蔽電極介質層,同時Bsg具有良好的高溫迴流特性,具備良好的溝槽填充能力,可以將溝槽CD極大程度縮小,因而可以縮小單位元胞尺寸(Pitch Size),採用更高摻雜濃度的外延片實現同樣的擊穿電壓,降低器件Rsp,增強市場競爭力。

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圖1 Trench MOSFET Structure

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圖2 SGT MOSFET Structure

SGT技術優勢,具體體現:

1)米勒電容SGT 工藝明顯比溝槽工藝低很多, 所以開關損耗低。

2)SGT 比溝槽工藝挖槽深度3-5倍, SGT可以橫向使用更多的矽外延體積來阻止電壓,使得SGT的內阻比普通MOSFET低2倍左右。

3)由於SGT MOSFET具有更深的溝槽深度,因此可以使用更多矽體積來吸收EAS能量。所以SGT可以在雪崩中做同樣或更好。

4)同等規格下,芯片面積可以做到更小,價效比更高。

尚陽通採用SGT最新一代工藝,基於多項專利技術推出中低壓MOSFET系列產品。舉例介紹尚陽通最新推出150V SGT MOSFET。

結合150V產品應用領域的不同,尚陽通同時推出兩款Rdson接近的產品:

SRT15N050H、SRT15N059H封裝形式有TO-22OC、TO-263。

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SRT15N050H、SRT15N059H主要引數比較

SRT15N050H

SRT15N059H

器件開關特性對比

測試條件:Vdc=75V;Rg=20Ω;Vgs=12V;Id=26A

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SRT15N050H適合需要低內阻,開關速度要求不高的系統,類似BMS領域應用; SRT15N059H適合要求開關損耗小,開關速度快的系統,類似高頻同步整流(SR)應用。

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圖3 SR Application

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圖4 BMS Application

尚陽通中低壓SGT系列產品,在電機驅動、電動工具、PD介面卡、大功率電源等各個領域已大批次供貨,為國產半導體器件的發展助力。

附:尚陽通部分SGT MOSFET產品選型表

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