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SK海力士M16工廠發生化學品外洩,3名工人送醫但不影響生產

SK海力士M16工廠發生化學品外洩,3名工人送醫但不影響生產

根據韓國媒體《Ddaily》的報道,韓存大廠SK海力士(SK-Hynix) 旗下位於京畿道利川市的M16晶片廠發生在6日了化學品外洩事件,過程中導致3名工人受傷。不過,3名受傷工人在送醫後並無大礙,而且晶片廠產線的生產也沒有受到影響。

根據報道,發生化學品外洩事件的是SK海力士位於韓國京畿道利川市的M16工廠。而化學品外洩事件發生在這一工廠的5樓,洩露的是氫氟酸 (Hydrogen Fluoride,HF)。據瞭解,氫氟酸是半導體生產過程中重要的材料,其無色的水溶劑卻有極強的腐蝕性,氫氟酸因可溶解矽石,因此廣泛被用於半導體晶片製作的浸蝕與清洗工作上。

而本次發生氫氟酸外洩事件的M16工廠,是SK海力士剛剛建成的一座新工廠。根據SK海力士官網的資訊顯示,M16工廠在2018年的11月動工,總投資金額達3。5萬億韓元,歷時2年建成,在2021年2月1日舉行了完工典禮。而在M16工廠完成興建之後,將主要用於生產DRAM產品。另外,作為SK海力士針對未來市場需求的重要工廠,M16工廠還引進了極紫外光曝光機 (EUV) 進入產線其中,這是SK海力士首次引進這一類裝置。

報道進一步強調,目前M16工廠正在進行最後一批生產裝置的裝機與測試工作,以準備在2021年下半年的正式量產。也因為這樣的情況,可能因此造成了本次的化學品外洩事件。而3名受傷的工人,一名遭化學品灼傷手臂及腿部,另兩名則是有吸入性的灼傷清況。在被送醫急救之後,目前已無大礙。而真正的化學品洩露原因,SK海力士與韓國相關單位也正在調查其中。

(首圖來源:Flickr/Kimber JakesCC BY 2。0)