IT之家 4 月 1 日訊息，據東方晶源釋出，近日，東方晶源首臺 8 英寸關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）出機國內積體電路製造和整體方案提供商燕東微電子。自 2021 年 6 月首臺 12 英寸 CD-SEM 出機後，東方晶源在電子束量測領域再次取得重大進展。
東方晶源首臺 8 英寸關鍵尺寸量測裝置（型號：SEpA-c300）基於東方晶源 12 英寸關鍵尺寸量測裝置的技術積累，面向 90nm 以上技術節點的成熟工藝。具有對標 12 英寸主流裝置的成像解析度、百微米級大視場成像能力、多樣化量測演算法，可以滿足客戶對不同產品線、多種應用場景下的量測需求。以關鍵尺寸量測裝置為例，目前市場上流通的 8 英寸裝置絕大多數是二手翻新裝置，具有效能指標不高及裝置穩定性差等問題。東方晶源旨在解決些問題。
公開資訊顯示，東方晶源是國內電子束檢測、量測裝置領先廠商，曾承擔國家 02 重大專項 — 電子束矽片圖形缺陷檢測裝置研發與產業化專案並驗收透過；首臺套電子束缺陷檢測裝置（EBI）已完成產線驗證並獲得重複訂單。東方晶源在電子束檢測、量測領域已填補多項國內空白。目前該公司已經和國內大部分主要晶圓代工企業建立了合作關係。
