數碼自研率超80%,國產蝕刻機突破技術壁壘,卡住臺積電5nm生產線據瞭解,中微半導體是一傢俱有自主研發能力的科研企業,研發出了多款晶片裝置,蝕刻機只是其中之一...時間:2021-08-20標籤:蝕刻 光刻機 半導體 晶片 屹唐