2002
年，一個叫賀榮明的中國人，帶著公司的核心技術人員，來到了
荷蘭南部靠近比利時邊境的小鎮費爾德霍芬
。他們身上揹著很重的任務，那就是被列入
863
重大科技攻關計劃的光刻機，此行的目的是與
ASML
開展技術合作，最不濟學點東西也好。但賀榮明沒想到，對方壓根就沒把東亞的客人放在眼裡，撂下一句：就算給你們圖紙，也造不出來高階光刻機。
上海微電子
一根刺，紮了咱們20年
這句話不僅僅是不禮貌，還很離譜。因為當時最先進的製程工藝，不過是
130nm
，算不上多麼高階。而
ASML
自己，只是因為恰好選中了林本堅提出的
浸潤式光刻，才
“上岸”不久。所以，賀榮明是越想越氣，腦子裡再也沒有什麼貿工技還是技工貿了。
回到了上海微電子之後，一門心思研究技術，並在2007年造出了國內首臺高階投影光刻機樣機。
ASML
ASML：我們的目標是EUV
但這還不夠，因為同年的
ASML
，已經開始在
SPIE
（光刻技術博覽會）上，對外展示了自己關於
EUV
光刻機的攝像。參會的日本專家湯之上隆，後來在書裡這樣回憶道：
ASML：我們的目標是EUV
很明顯，湯之上隆被鎮住了，他知道
ASML
打算幹嘛，也知道那將會是一顆凝聚全球心血的智慧結晶。
張忠謀
太陽系在銀河系的最右端，這裡有人類賴以生存的地球。然而，EUV量產機與太陽系的距離，卻達到了10萬光年之遠。
因此，
ASML
就更囂張了，常年跟張忠謀一唱一和。一個說“大陸廠商造不了
EUV
光刻機”，另一個說“大陸專心研究晶片就行”。直到
2019
年，拐點才真正出現。
轉折出現
於是，
ASML
向蔡司追加了
20
億美元的投資，將共同研發
NA=0。55
的
High NA
（高數值孔徑）透鏡，用於製造可生產
3nm
以下工藝晶片的光刻機。
臺積電
但蔡司想要升級透鏡，又談何容易？一方面，拋光透鏡的蔡司員工，已經是祖孫三代同處一個崗位，實在沒辦法更卷。賀榮明說過：同樣一個鏡片，不同工人去磨，光潔度相差十倍。另一方面，蔡司的透鏡精度已經達到了皮米級別（千分之一奈米），很難想象還能怎麼卷。
這一年，ASML發現自己頂不住了，必須靠蔡司供應更好的透鏡才行，也就是從硬體上物理升級。
華為
有人曾經打過這樣一個比方：將平底鍋大小的透鏡，放大到整個德國那麼大（24.36萬平方公里），最高的山坡，不能超過1毫米。
與此同時，中國廠商正在加速追趕。
2002
年的時候，中國連一臺液晶電視的顯示屏，都必須進口，何談創立自己的電子消費品品牌。
最後的一唱一和
在生產端，梁孟松已經加入中芯國際兩年時間。
ASML
也許不識泰山，但老東家臺積電可是明白，接下來會發生什麼。
中芯國際
2021
年，中國半導體投資額暴漲至
1400
億的第二年。
90
歲的退休老人張忠謀再度走向臺前，一改此前的紅臉扮相，給咱們結結實實地潑了一盆冷水：大陸的半導體制造落後
TSMC 5
年以上，還不是對手。
最後的一唱一和
紅臉張飛，白臉曹操，一如許多年前。
溫寧克
但是2019年的時候，華米OV都已經站了出來，中國半導體已經邁出了最關鍵的一步，那就是把自己的市場掌握在自己手裡。
2022
年，中芯國際交出
14nm-28nm
份額大幅提升的漂亮答卷，梁孟松也表示距離試產
7nm
，只差一臺
EUV
光刻機。溫寧克在
1
月份給自己壯膽，又似乎有點得罪我們，說：大陸不大可能獨立複製頂尖的光刻技術。這還不算完，
3
月
28
日，觀察者網帶來了溫寧克的最新表態：
ASML總裁溫寧克反過來勸起了老美，卡華為脖子非但不能阻礙大陸廠商的進步，在傷害自身發展的同時，還會加快他們自主研發的速度。
ASML變了
這不是我們的選擇，而是《瓦森納協定》讓我們別無選擇。言下之意就是
高通
這是自賀榮明探訪
ASML
，
20
年以來，
ASML
首次放下心高氣傲，心平氣和，甚至略帶討好地跟我們說話。為什麼？除了前面提到的自研進展之外，還有一個重要因素就是“小晶片技術”的普及。小晶片是一種，透過把多張小規格晶片，封裝成異構晶片，從而減少研發成本，並繞開後摩爾定律的技術。
我們也想賣中國光刻機
。
英特爾
目前，英特爾高通等一眾企業，已經聯合起來，建立了一個完全拒大陸企業於門外的小晶片聯盟。而咱們自己，也因為無法得知任何封裝技術細節的原因
，
在
3
月下旬，傳出了“已經列好，專為中國市場量身定製的小晶片相關草案”的訊息。
結合上海微電子即將量產
28nm
光刻機的進展來看，
ASML
再看不清局勢，向咱們說幾句好話，恐怕機子就要砸在手裡。
兩張及以上的14nm晶片，就可以實現7nm，甚至5nm晶片的效能。換言之，EUV光刻機不再是必選項
（李雙喜）
