光刻機比原子彈還稀有,全球僅2個國家掌握其技術,製造它太難了
首先就是光刻機最重要的核心功能——光源銘刻,這意味著光刻機需要一款精度達到奈米級的鐳射發射器,目前唯有美國Cymer公司具備生產深紫外線光源的能力...
時間:2023-01-02
首先就是光刻機最重要的核心功能——光源銘刻,這意味著光刻機需要一款精度達到奈米級的鐳射發射器,目前唯有美國Cymer公司具備生產深紫外線光源的能力...
時間:2023-01-02
我們現在唯一能做的就是不氣餒不放棄,繼續在光刻機的研製道路上不斷前進,堅信終有一日可以突破技術的壁壘,做到領先全球...
時間:2022-11-20
可見ASML的極紫外EUV光刻機使用的就是由Cymer公司研發的第三代光源,該光源有兩大特點:第一,功率高,250W...
時間:2022-02-21
時間:2022-11-10
用於提高載流子遷移率的 SiGe pFET 溝道按照臺積電所說,在他們的7nm節點之前,矽一直是所有 CMOS 技術世代的首選電晶體溝道材料...
時間:2022-07-20
導讀:三星電子於6月30日宣佈,全球首先量產採用環柵 (GAA) 電晶體架構的3nm工藝節點,同時韓媒稱三星與ASML就採購高數值孔徑 (NA) EUV光刻裝置已簽署協議...
時間:2022-06-30
時間:2022-07-09
時間:2022-06-30
他指出,與現有的EUV系統相比,High-NA EUV微影裝置預計將能在減少曝光顯影次數的情況下,實現2奈米以下邏輯晶片的關鍵特徵圖案化...
時間:2022-06-28
他指出,與現有的EUV系統相比,High-NA EUV微影裝置預計將能在減少曝光顯影次數的情況下,實現2奈米以下邏輯晶片的關鍵特徵圖案化...
時間:2022-06-28
33 NA EUV 光刻機的同時,ASML 也在衝刺研發 0...
時間:2022-06-28
臺積電業務發展高階副總裁Kevin Zhang後來澄清表示,臺積電不會在2024年準備使用新的High-NA EUV工具進行生產,將主要用於與合作伙伴進行研究...
時間:2022-06-17
時間:2022-06-17
時間:2022-06-15
Intel 4 即為以前的英特爾 7nm 工藝,是其第一次在晶片上採用 EUV 光刻技術...
時間:2022-06-14
臺積電業務發展高階副總裁張凱文澄清說,臺積電不會在 2024 年準備好使用新的高 NA EUV 工具進行生產,但它將主要用於與合作伙伴的研究...
時間:2022-06-17
生產新一代光刻機的重要性該專案是否能成功不僅對ASML來說至關重要,對訂購這些光刻機的企業來說也非常重要,特別是在這一階段,由於全球半導體短缺,大型晶片製造商正在紛紛擴大生產能力...
時間:2022-05-23
時間:2022-05-22
近日,臺積電公佈其2nm製程路線圖,最大亮點就是取代FinFET(鰭式場效應電晶體)後採用奈米片電晶體(Nanosheet),相較於N3,在相同功耗下,速度提升10~15%...
時間:2022-06-17
某技術大牛發表的論文和參與的光源技術研究專案簡介綜上所述,國產DUV、EUV曝光裝置研製工作都已進入尾聲,其中DUV曝光裝置很可能已經量產...
時間:2022-06-04