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AMSL最近鬱悶了,他們依賴進口的EUV光源技術,竟然被清華掌握了

AMSL最近鬱悶了,他們依賴進口的EUV光源技術,竟然被清華掌握了

目前光刻機技術一直掌握在荷蘭公司手中,中國以及其他國家在此方面一直都未有較大突破,希望透過清華此次研究突破可以促進我國在光刻機上取得新發展相信隨著國內在EUV光刻機技術上的佈局不斷深入,國產EUV光刻機的道路會越來越順利,當然也不能自大,畢...

時間:2021-02-28